세계 주요한 가스 공급자, 중국에 있는 1 역 해결책.
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| 원래 장소: | 중국 |
| 브랜드 이름: | TYHJ |
| 인증: | ISO Certificate |
| 모델 번호: | NF3 |
| 최소 주문 수량: | 200pcs |
|---|---|
| 가격: | negotiable |
| 포장 세부 사항: | 1. 20Kg NF3 액체로 채우는 44Ltr 실린더. 2. 200Kg NF3 액체로 채우는 440L 실린더. |
| 배달 시간: | 예금의 영수증 후에 15-30 작업 일 |
| 지불 조건: | L/C, T/T, D/A, D/P, 서부 동맹 |
| 공급 능력: | 달 당 10000KG |
| 캐스 번호: | 7783-54-2 | EINECS 번호: | 232-007-1 |
|---|---|---|---|
| 유엔 아니.: | UN2451 | 순도: | 99.995% |
| 점 종류: | 2.2 | 외관: | 무색 |
| 하이 라이트: | advanced specialty gases,purity plus specialty gases |
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질소 Trifluoride NF3 가스, 실리콘 웨이퍼의 플라즈마 에칭 용 특수 가스 무색
삼 플루오르 화질 소는 화학식 NF3를 갖는 무기 화합물이다. 이 질소 - 불소 화합물은 무색, 무취, 불연성 가스입니다. 그것은 마이크로 일렉트로닉스에서에 천트로서의 사용이 증가하고 있음을 알게되었다. 삼 불화 질소는 매우 강한 온실 가스입니다.
명세서
CAS 번호 : 7783-54-2
EINECS 번호 : 232-007-1
유엔 번호 : UN2451
순도 : 99.995 %
도트 클래스 : 2.2
외관 : 무색
학년 표준 : 전자 학년
| 사양 | 99.995 % 이상 |
| CF4 | ≤40 ppm |
| N2 | ≤5 ppm |
| O2 + Ar | ≤5 ppm |
| 콜로라도 주 | ≤5 ppm |
| CO2 | / |
| N2O | / |
| SF6 | ≤2 ppm |
| 물 | ≤1 ppm |
| HF | ≤1 ppm |
일반적인 응용 분야
에칭:
질소 Trifluoride는 실리콘 웨이퍼의 플라즈마 에칭에 사용됩니다.
포장 및 배송
| 패키지 크기 | 44Ltr 원통 | 440Ltr 실린더 | ISO 탱크 |
| 충전 중량 / Cyl | 20Kgs | 200Kgs | / |
| 20'Container에 QTY로드 됨 | 200 Cyls | 20 Cyls | |
| 총 순중량 | 4 톤 | 4 톤 | |
| 실린더 용기 무게 | 50Kgs | 240Kgs | |
| 판막 | CGA / DISS640 | ||
담당자: Millet
